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1、适用于常规放电;
2、功率密度5-20W/cm2;
3、利用率>40%;
4、有效沉积区膜厚误差<5%;
1、适用于大功率放电;
2、功率密度达200W/cm2以上;
3、沉积速率提高10-20倍;
4、离化率>70%;
1、适用于HiPIMS放电;
2、离化率近100% ;
3、沉积速率提高4倍;
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